شماره ركورد
6363
شماره راهنما
PHY2 290
عنوان
بررسي روش هاي پايشگري ضخامت لايه هاي نانومتري اپتيكي و بهينه سازي پايشگري در دستگاه لايه نشاني موجود
مقطع تحصيلي
كارشناسي ارشد
رشته تحصيلي
فيزيك گرايش اتمي- مولكولي
دانشكده
دانشكده علوم، گروه فيزيك
تاريخ دفاع
1388
صفحه شمار
105ص
استاد راهنما
حميدرضا فلاح
استاد مشاور
مرتضي حاجي ، سيد مجتبي مستجاب الدعواني
كليدواژه فارسي
فيزيك ﴿اتمي- مولكولي﴾ , لايه نازك , اپتيك , نظريه همبستگي , اندازه گيري ضخامت , لايه نشاني
تاريخ نمايه سازي
21/10/88
نام نمايه ساز
خراساني
كليدواژه لاتين
Physics (atomic- molecular) , Thin film , Optics , Correlation theory , Thickness measurement , Address layer
عنوان لاتين
Thickness monitoring methods for nanoseale optical thin films and its optimization in our coating equipment
نويسنده