• شماره ركورد
    6363
  • شماره راهنما
    PHY2 290
  • عنوان

    بررسي روش هاي پايشگري ضخامت لايه هاي نانومتري اپتيكي و بهينه سازي پايشگري در دستگاه لايه نشاني موجود

  • مقطع تحصيلي
    كارشناسي ارشد
  • رشته تحصيلي
    فيزيك گرايش اتمي- مولكولي
  • دانشكده
    دانشكده علوم، گروه فيزيك
  • تاريخ دفاع
    1388
  • صفحه شمار
    105ص
  • استاد راهنما
    حميدرضا فلاح
  • استاد مشاور
    مرتضي حاجي ، سيد مجتبي مستجاب الدعواني
  • كليدواژه فارسي
    فيزيك ﴿اتمي- مولكولي﴾ , لايه نازك , اپتيك , نظريه همبستگي , اندازه گيري ضخامت , لايه نشاني
  • تاريخ نمايه سازي
    21/10/88
  • نام نمايه ساز
    خراساني
  • كليدواژه لاتين
    Physics (atomic- molecular) , Thin film , Optics , Correlation theory , Thickness measurement , Address layer
  • عنوان لاتين
    Thickness monitoring methods for nanoseale optical thin films and its optimization in our coating equipment
  • نويسنده

    خسروي، زهره